概述
使用崭新的技术，提供高速度与精确度，建立出可靠以及可信赖的测量系统。
该系统包括InSpec测量软件，可程式化的光学变焦，3X的数码变焦，非线性平台补偿，非线性光学补偿，先进的LED光源系统以及温度检测仪。
InSpec测量软件功能强大：使用鼠标就能轻松编写程序，专有的系统寻边功能，先进的光源控制及校正功能，与复合传感器结合，自动校正，可清晰显示测量资料及公差。
规格表
| 型号 | 测量行程(mm) | 机台重量(kg) | XY轴最大速度(mm/s) | Z轴最大速度(mm/s) | 分辨率 | 承载重量 | 外观尺寸(mm) |
| Vertex 261 | 250x160x160 | 100 | 250 | 100 | 0.1 μm | 10 kg | 755x1130x1075 |
| Vertex 341 | 315x315x160 | 150 | 250 | 100 | 0.1 μm | 20 kg | 900x1410x1065 |
| Vertex 342 | 315x315x250 | 160 | 250 | 100 | 0.1 μm | 20 kg | 900x1410x1245 |
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