概述
使用崭新的技术，提供高速度与精确度，建立出可靠以及可信赖的测量系统。
该系统包括InSpec测量软件，可程式化的光学变焦，3X的数码变焦，非线性平台补偿，非线性光学补偿，先进的LED光源系统以及温度检测仪。
InSpec测量软件功能强大：使用鼠标就能轻松编写程序，专有的系统寻边功能，先进的光源控制及校正功能，与复合传感器结合，自动校正，可清晰显示测量资料及公差。
规格表
| 型号 | 测量行程(mm) | 机台重量 (kg) | XY轴最大速度 (mm/s) | Z轴最大速度 (mm/s) | 分辨率 | 承载重量 | 外观尺寸(mm) |
| Excel 901 | 750x900x160 | 2630 | 500 | 500 | 0.05 μm | 100 kg | 1625x1808x1647 |
| Excel 902 | 750x900x250 | 2644 | 500 | 500 | 0.05 μm | 100 kg | 1625x1808x1819 |
| Excel 904 | 750x900x400 | 2655 | 500 | 500 | 0.05 μm | 100 kg | 1625x1808x2119 |
| Excel 1301 | 1050x1300x160 | 3085 | 500 | 500 | 0.05 μm | 100 kg | 1925x2208x1647 |
| Excel 1302 | 1050x1300x250 | 3096 | 500 | 500 | 0.05 μm | 100 kg | 1925x2208x1819 |
| Excel 1304 | 1050x1300x400 | 3108 | 500 | 500 | 0.05 μm | 100 kg | 1925x2208x2119 |
| Excel 1701 | 1250x1700x160 | 3492 | 500 | 500 | 0.05 μm | 100 kg | 2125x2608x1647 |
| Excel 1702 | 1250x1700x250 | 3504 | 500 | 500 | 0.05 μm | 100 kg | 2125x2608x1819 |
| Excel 1704 | 1250x1700x400 | 3515 | 500 | 500 | 0.05 μm | 100 kg | 2125x2608x2119 |
| Excel 2500 | 1600x2560x160 | 6904 | 500 | 500 | 0.05 μm | 100 kg | 2470x3470x1972 |
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