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奥林巴斯OLYMPUS

STM7奥林巴斯测量显微镜

通过整合光学显微镜和先进的测量能力实现精确测量

多年的显微镜开发经验成就了优异的观察性能STM7奥林巴斯测量显微镜系列采用了当前zuixianjin光学显微镜中所使用的UIS2无限远校正光学系统。因此,观察到的图像具有高分辨率和高对比度,此外,像差也被完全消除,以确保实现对微小细节的高精度测量。


明场图像

暗场图像

微分干涉图像

偏光图像

花岗岩精雕细琢而成的载物台基座增强了测量的可靠性


STM7-LFFEM分析
为了进一步保证测量精度,STM7测量显微镜系列采用了一个配备花岗岩基座的高度耐用和防振动的镜架。由于花岗岩的高稳定性,使测量可到达亚微米水平,同时确保zui*程度地降低误差。

作为高度测量的先锋,继续提供简单易操作的高精度3轴测量


共聚焦自动对焦系统光路
随着现代制造技术日益小型化和精密化,高精度测量也日趋重要——不仅是XY轴平面的测量,而且Z轴方向的高精度测量也成为必须。奥林巴斯成为SJ成功开发了测量显微镜用采用主动反射、共聚焦方法的自动聚焦系统的公司,以此响应了这种与日俱增的需求。

严格的可追溯系统确保品质可靠奥林巴斯通过一个严格的可追溯系统控制测量显微镜的精确度。并且在安装系统时奥林巴斯也提供了可追溯的校准服务。

测量显微镜跟踪系统
STM7测量显微镜设计注重易用性

提供载物台以适合眼下的样本大小
[常见问题] 
 短测量行程无法满足较大样品的测量需求。
 目前为止,大型载物台在X轴方向提供了足够的测量行程,但是Y轴的行程仍然较小。在测量过程中需要通过旋转样品来补偿比X轴覆盖范围要短的Y轴行程,这样的做法费事费时,效率不高。
 由于可测量的范围窄,无法将数量较多的样品排列在载物台上,以实现一次性同时测量。
[STM7解决方案]
    共有四种独特的正方形测量行程的载物台可供选用,分别为:50 mm×50 mm、100 mm×100 mm、200 mm×200 mm
和300 mm×300 mm。不管是大的样品还是小的样品,总有一款载物台会适合您要测量的样品。
 采用离合器系统可以在粗调和微调之间实现快速切换。具备了这种切换功能之后,载物台也可以沿着X轴和Y轴方向迅速移动,并且可以在XY平面上自由穿梭。
 300 mm长的方形载物台在X轴和Y轴方向上可以提供相同的测量行程,这意味着可以不旋转样品就实现大型样品的全部测量,比如300 mm的晶圆和印刷电路板。


STM7-CS50
50mm x 50mm

STM7-CS100
100mm x 100mm

STM7-CS200
200 mm x 200 mm

STM7-CS300
300 mm x 300 mm

使用相同的显微镜进行低倍率和高倍率观察
[常见问题]

大部分传统的测量显微镜只可以专用测量物镜或专用金相物镜,无法同时满足多种观察要求。
[STM7解决方案]
STM7测量显微镜可以通过安装一个测量物镜适配器使用测量物镜,而更换为物镜转盘后,便可使用金相物镜。这意味着, STM7将金相光学系统和测量光学系统同时结合在一台测量显微镜中。通过这种方式,无论是测量大型样品还是精细样品,或是表面高度差异大的样品,STM7系列都可以对应并协助用户选择**的观察方法。
测量物镜
由于测量物镜具有非常长的工作距离,因此可以在对表面起伏较大的样品进行聚焦的时候,无需担心物镜与样品之间发生接触。此外,借助测量物镜的低倍率能力,可以一次观察到较大的视场。

金相物镜可以得到和光学显微镜相媲美的高倍率和高分辨率观察能力。更重要的是,在明场观察之外还可以对应暗场,偏光和微分干涉观察。


明场图像

暗场图像

手动和电动调焦模式的选择
STM7测量显微镜系列包括手动调焦和电动调焦两个系列
对于Z轴的上下调焦,有手动型和电动型两种系列供您选择。请根据样品和测量内容选择符合您需求的机型,而不需要考虑载
物台的尺寸。所有的镜架均内置Z轴线性标尺,各种型号STM7都可以对应3轴测量。


手动Z轴调焦机型
手动Z轴调焦机型提供了卓越的成本效益——通过操作被广泛使用的调焦旋钮,可以快速的上下移动Z轴。为测量具有各种高度样品的用户提供了方便。

电动Z轴调焦机型
使用电动调焦装置可以大幅提高操作性,并减少了进行聚焦和高度测量时的操作疲劳。粗微调焦的同轴旋钮设计使使用者可以以习惯的类似手动的方式进行操作,同时电动机型还可以配备自动聚焦单元。

一个具有突破性设计的控制单元大幅提升了测量显微镜的操作性[常见问题]
 增加功能时需要添置额外的操作单元。操作者需要同时操作多个单元而导致无法高效率地进行测量。操作时也经常会发生找不到操作单元的情况。
 增加功能时需要添置额外的操作单元。操作者需要同时操作多个单元而导致无法高效率地进行测量。操作时也经常会发生找不到操作单元的情况。
[STM7解决方案]
控制装置
对于STM7测量显微镜系列,只要使用单一的操作装置能够执行几乎所有的测量显微镜操作,包括重置计数器、照明控制、调焦和自动聚焦等功能。为了提高效率和方便性,您可以将装置放在任何想要放置的位置,并可以轻松地单手操作。


用于手动Z轴调焦机型:
STM7-HS手动操作装置

用于电动Z轴调焦机型:
STM7-MCZ电动操作装置

控制箱
各个单元的电源和通信均被集成在一个单一的控制箱中。即使是添加一些可选功能比如聚焦导航功能也不需要增加额外的电源装置,这样的设计可以zui*程度地减少占用工作空间。
大大提高了观察和测量效率的光源管理器
[常见问题]

 传统测量显微镜使用的模拟旋钮调节方式不能实现光强的定量控制。这样每次测量时的光强无法保持一致,导致测量值也发
生变化。
 使用传统测量显微镜时,每次切换物镜后都需要调节光强,这使得工作流程非常低效。
[STM7解决方案]
能够定量掌握光源亮度的数字式显示


 
STM7测量显微镜能够实现光强的定量数字化显示,保证了能在始终一致的照明条件下实施观察。

物镜切换时,无需手动调节光强
光强度管理器可以与编码物镜转盘配置配套使用。带编码物镜转盘会自动识别目前使用的物镜,结合光源管理器的预设
值功能,可以为每个物镜注册照明方式和光强。这样每当切换物镜后,可以自动调节光强和调整照明方式。象以前每次
切换倍率后手动调节光强的操作,现在就可以省略了。


5倍
强度50

20X
强度70

100X
强度120

可以放置在任意方便使用地方的可拆卸计数器,确保能随时迅速地检查测量结果和设备状态。
[常见问题] 

需要检查诸如照明状态等设备运行状以及测量结果时,因为是在不同单元上显示使操作变得非常繁琐。
[STM7解决方案]
能一目了然确认当前状态的计数器
计数器带有显示设备状态和设置的指示灯,可以简单的实现对设备当前设定状态的确认。X、Y和Z轴的最小单位可以在
0.1 μm和1 μm之间切换,此外,还可以在毫米、微米、英寸和密耳之间切换显示单位。
可满足个性化需求自由放置的可拆卸式计数器
无论是安装在镜架上还是放置在工作台上,可拆卸式计数器都可以根据用户的使用状况和使用习惯放置在**位置。当用户站
着进行测量时,可以将计数器安装在和观察位置大致相同高度的镜架一侧,以方便轻松的观察和检查结果。当用户通过数码相
机在显示器上进行观察和测量,或使用电动Z轴调焦机型时,只需将计数器和操作装置放在工作台上即可轻松地坐在椅子上进
行作业。


计数器安装在镜架上

计数器放置在工作台上

高度测量:聚焦导航系统
实现更快、更简单、更精确的高度测量
[[常见问题]

进行目视测量时,不同的操作者会测得不同的高度测量值。此外,这种测量方法非常耗时,效率低下。
[STM7解决方案]
具有优越的重复性、简单且高度精确的聚焦系统
通过将图案投影在视场范围内,由操作者确认上下图案的重合情况,奥林巴斯的聚焦导航系统实现了重复性高的高度测量操作。普通的目测观察进行高度测量时,即使是看上去非常清晰的已经完全合焦的图像,也会出现微小误差。而使用STM7的聚焦导航系统,只需匹配标记便可进行测量,因此减少了操作者的主观性对测量结果造成的影响。
目视高度测量

聚焦导航系统


焦点下方

焦点位置

焦点上方

自动聚焦的优势成就快速、高精度的高度测量
[常见问题]
 进行目视测量时,不同的操作者得出的高度测量结果也会不一样。
 手动高度测量需要操作者反复进行移动载物台,使用旋钮调焦的操作,这使测量既耗时又低效。
 很难对微小的物体聚焦,比如引线。
[STM7解决方案]
快速、jing准的聚焦和不受操作者主观影响的测量
奥林巴斯开发了STM7系列专用的自动聚焦单元,该单元在实现快速聚焦的同时,保障了卓越的对焦重复性。因此,无论操作
者的经验如何,均可以在很短的时间内实现高度精确的高度测量。无论操作者的经验如何,使用STM7专用自动对焦单元均可
以在最短时间内实现高度精确的高度测量。即使是粗糙或倾斜的样品表面,利用主动反射、共聚焦方法都可以实现稳定对焦,而小直径的激光,也能保证对微小物体,比如引线的自动对焦。

单次对焦模式
执行自动聚焦后,可瞬间完成从大致的聚焦状态转为视场中心的清晰对焦。
跟踪模式
启用具有特色的追踪模式后会随样品表面的高低起伏自动对焦,即使在移动工作台的情况下,也可以始终保持合焦状态。这使得操作者在手不需要离开X和Y手柄的情况下也能实施观察,从而极大地提高了Z轴的测量效率。
拓宽了测量观察范围的配件
编码物镜转换器

将编码物镜转盘与数码照相机配套使用可以在观察过程中在屏幕上显示物镜的放大倍率,以方便您记录倍率。同时切换倍率
时也能与软件中记录的校准值和光强连动调整设置。有明场物镜和明暗场物镜两种供您选择。

MM6-EMO正像单目镜筒

正立图像用单目镜筒。可与MM6-OCC10×(带十字线的目镜)配套使用。

STM7-FS脚踏开关

实现了不需要用手进行数据传输,使操作者可以在手不离开X和Y手柄的情况下完成测量。

SZ-LW61白光LED照明装置

具有小型,轻便,使用寿命长,功耗低等特点。此外,这款高性价比的LED照明单元也不会发生闪烁和亮度波动。

SZX2-ILR66+ SZX-RHS LED环形照明+手动控制装置

SZX-RHS手动控制单元可以实现SZX2-ILR66反射LED环形照明装置的四段独立照明,并提供具有较高色温的清晰图像。可以从13种模式中选择**的照明。

旋转载物台
使用微调旋钮可以轻松实现对样品的平行对齐。


STM7-RS100
STM7-CS100 100mm×100mm载物台

STM7-RS200
STM7-CS200 200mm×200mm载物台

STM7-RS300
STM7-CS300 300mm×300mm载物台

测量支持系统
即使对复杂形状也能实现更快、更简单、更精确的测量
对于显示测量显微镜输出的数据和图像来说,看的越清楚也就能更方便更快捷地使用和测量。为了支持高精度、高复杂性的测量,奥林巴斯测量软件可以和数码照相机结合使用。


技术规格


小型手动镜架
STM7-SF
小型电动镜架
STM7-SFA
中型手动镜架
STM7-MF
中型电动镜架
STM7-MAF
大型手动镜架
STM7-LF
大型镜架
STM7-LFA
显微镜
镜架

聚焦
垂直移动范围175 mm145 mm
最大的测量高度120 mm(配备测量物镜)
175 mm(配备金相物镜)
90 mm(配备测量物镜)
145 mm*1(配备金相物镜)
Z轴测量分辨率0.1 μm
Z轴驱动方法手动同轴
微调/粗调
焦旋钮
电马达驱动:
●聚焦按钮:
移动速度
8 mm/s(最大)
●微/粗调焦旋钮:
微调焦速度(旋转
一周移动量)
有4档可供选择
(800 μm,400μm,
100 μm,50 μm)
手动同轴
微调/粗调
焦旋钮
电马达驱动:
●聚焦按钮:
移动速度
8 mm/s(最大)
●微/粗调焦旋钮:
微调焦速度(旋转
一周移动量)
有4档可供选择
(800 μm,400μm,
100 μm,50 μm)
手动同轴
微调/粗调
焦旋钮
电马达驱动:
●聚焦按钮:
移动速度
8 mm/s(最大)
●微/粗调焦旋钮:
微调焦速度(旋转
一周移动量)
有4档可供选择
(800 μm,400μm,
100 μm,50 μm)
照明LED照明白色:用于反射光照明,绿色:用于透射光照明
镜筒正像单目镜筒,正像三目镜筒(100:0/0:100)
物镜测量显微镜用MM6-OB系列
金相显微镜用MPLFLN 系列, LMPLFLN 系列, MPLFLN-BD 系列, LMP LFLN-BD 系列
目镜  MM6-OCC10X (带十字线, FN 22), MM6-O C10X (FN 22)     
载物台测量范围STM7-CS50:
X轴 50 mm, Y轴 50 mm
STM7-CS100:
X轴 100 mm, Y轴 100 mm
STM7-CS200:
X轴 200 mm, Y轴 200 mm
STM7-CS300:
X轴 300 mm, Y轴 300 mm
测量精确度
(L:测量长度)
STM7-CS50: (3+L/50) μm
STM7-CS100: (3+2L/100) μm
(3+4L/200) μm(3+6L/200) μm
精确度保证重量STM7-CS50: 5 kg
STM7-CS100: 6 kg
10 kg15 kg
计数器显示 轴数3轴
单位毫米/微米/英寸/密耳   
最小分辨率0.1 μm 
外形尺寸(宽×长×高)(mm)466 x 583
x651
466 x 583 x 811606 x 762 x 651606 x 762 x 811804 x 1024 x 686804 x 1024 x 844
重量约84 kg约92 kg约152 kg约159 kg约277 kg约284 kg
额定功率100-120/220-
240V ~
50/60Hz
0.3A/0.2A
100-120/220-
240V ~ 50/60Hz
0.6A/0.35A
100-120/220-
240V ~ 50/60Hz
0.3A/0.2A
100-120/220-
240V ~ 50/60Hz
0.6A/0.35A
100-120/220-
240V ~ 50/60Hz
0.3A/0.2A
100-120/220-
240V ~ 50/60Hz
0.6A/0.35A

*1 使用大型镜架STM7-LF/STM7-LFA时,可以将高度为100 mm或以下的样品放置在光轴后方180 mm或以上距离的地方。

物镜工作距离

                                                  倍率1x3x5x10x20x50x100x
物镜
测量物镜MM6-OB系列 59.676.865.450.5---
金相物镜MPLFLN系列明场--20.011.03.11.01.0
LMPLFLN系列长工作距离--22.521.012.010.63.4
MPLFLN-BD系列明场/暗场--12.06.53.01.01.0
LMPLFLN-BD系列明场/暗场
长工作距离
--15.010.012.010.63.3



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