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奥林巴斯OLYMPUS

奥林巴斯 MX63/MX63L 半导体/FPD检查显微镜


详细介绍

满足电子行业需求

功能性

为满足电子行业的人体工学和安全性要求而设计的附加功能以增强分析能力

人性化

简洁的显微镜设置使用户调整和再调用系统配置变得更为轻松。

先进的成像技术

我们成熟可靠的光学器件和优良的成像技术可获得清晰图像,并完成可靠检测。

模块化

用户可通过选择适合其应用的模块进行系统定制。

先进的分析工具

MX63系列的各种观察功能可生成清晰的图像,让用户能够对样品进行可靠的缺陷检测。全新
照明技术以及奥林巴斯Stream图像分析软件的图像采集选项为用户评估样品和存档检测结
果提供更多选择。

从不可见到可见:MIX观察与采集
通过暗场与明场、荧光或偏光等其他观察方法结合使用,MIX观察技术能够获得特殊的观察图像。MIX观察技术可让用户发现用传统显微镜难以观察的缺陷。暗场观察所用的环形LED照明器具有可四象限分段照明的定向暗场功能。该功能可减少样品光晕,有助于观察样品的表面纹理。

轻松生成全景图像:即时MIA

利用多图像拼接(MIA)功能, 用户移动手动载物台上的XY旋钮即可轻松快速地完成图像拼接—电动载物台无需该操作。奥林巴斯Stream软件利用图案识别生成全景图像,让用户获得更宽的视场。

生成全聚焦图像:EFI

奥林巴斯Stream软件的扩展聚焦成像(EFI) 功能可采集高度超出景深范围的样品图像。EFI将这些图像堆叠在一起生成单幅全聚焦样品图像。EFI配合手动或电动Z轴载物台使用,可轻松生成结构可视化的高度图像。EFI图像可在奥林巴斯Stream桌面软件内离线生成。

利用HDR采集明亮区域和暗光区域

利用先进的图像处理技术,高动态范围(HDR)可在图像内调整亮度差异,以减少眩光。HDR改善了数字图像的视觉品质,从而有助于生
成具有专业级的报告。

从基本测量到高级分析

测量对于品质、工艺控制和检测非常重要。基于这一想法,即便入门级奥林巴斯Stream软件包也包括交互测量功能的全部菜单,并且所有测量结果与图像文件一起保存以便日后调用文档。此外,奥林巴斯Stream材料解决方案可为复杂图像分析提供直观的工作流界面。点击按钮,图像分析任务即可快速jing准完成。可大幅度缩减重复性任务的处理时间,使操作人员的精力集中在检测工作上。

高效的报告创建
创建报告所用的时间常常比采集图像和测量还长。奥林巴斯Stream软件提供了直观的报告创建功能,能够根据预先设定的模板多次创建专业复杂的报告。编辑非常简单,报告可导出为MicrosoftWord或PowerPoint文件。此外,奥林巴斯Stream报告功能能够对采集的图像进行数码变焦和倍率放大。报告文件大小适中,通过电子邮件进行数据传递更加方便。

独立相机选项
测量对于品质、工艺控制和检测非常重要。基于这一想法,即便入门级奥林巴斯Stream软件包也包括交互测量功能的全部菜单,并且所有测量结果与图像文件一起保存以便日后调用文档。此外,奥林巴斯Stream材料解决方案可为复杂图像分析提供直观的工作流界面。点击按钮,图像分析任务即可快速jing准完成。可大幅度缩减重复性任务的处理时间,使操作人员的精力集中在检测工作上。使用DP22或DP27显微镜相机的MX63系列是一套先进的独立系统。该相机采用几乎不占空间的紧凑型控制盒控制,在采集清晰图像以及进行基本测量工作的同时让实验室空间得到充分利用。

直观的显微镜控制:舒适且使用方便

显微镜设置操作简单,让用户调整和再调用系统配置更加轻松。

快速寻找焦点:聚焦辅助

在光程内插入聚焦辅助可以轻松无误地实现诸如裸晶片之类低对比度样品的对焦。在焦平面上的网格对焦让您的样品对焦更加简单。

利用光强管理器和自动孔径控制实现快速观察

对于常规显微镜,使用者每次观察都需要调整光强度和孔径。MX63系列让使用者能够针对不同的倍率和观察方法设定光强和孔径条件。这些能够轻松调用的设置即可帮助使用者节省时间又可获得优良的图像质量。

人体工学设计实现更快、更舒适的操作

更换物镜以及调整孔径光阑的控制器位于显微镜前面较低的位置,因此使用者在使用过程中无须松开对焦旋钮或将头从目镜上移开。

 

为质量检验提供精细的光学性能和数码成像技术

奥林巴斯研发高质量光学器件和先进数码成像技术的悠久历史成就了具有卓越测量精度的
一系列可靠光学器件和显微镜。

卓越的光学性能:
波阵面像差控制

物镜镜头的光学性能对于观察图像品质和分析结论有着直接的影响。奥林巴斯UIS2高倍率物镜可最大限度减小波阵面像差,从而获得可靠的光学性能。

始终一致的色温:
高强度白色LED照明

MX63系列采用高强度白色LED光源进行反射和透射照明。无论光强度如何,LED光源均可保持始终如一的色温,从而实现可靠的图像质量和色彩复现。LED系统可提供非常适合材料科学应用的高效率、长寿命照明。

精确测量:自动校准

与数码显微镜类似,当使用奥林巴斯Stream软件时可实现自动校准。自动校准有助于消除校准过程中的人为偏差,保证了更可靠的测量。自动校准采用的算法可根据多个测量点均值自动
计算正确的校准值。由此最大限度减小了因不同操作者所导致的偏差,并始终保持稳定的精度,提高了常规验证的可靠性。

完全清晰的图像:
图像阴影校正

奥林巴斯Stream软件具有解决图像角落周边阴影问题的阴影校正功能。在配合强度阈值设置使用时,阴影校正可实现更加精确的分析。


技术规格:

MX63MX63L

Optical systemUIS2 optical system (infinity-corrected system)
Microscope frameReflected light illumination(FN 26.5)White LED(with Light Intensity Manager)12 V 100 W halogen lamp, 100W mercury lamp 
Brightfield/darkfield/mirror cube manual changeover. (Mirror cube is optional. ) 
3 position coded mirror units changed by manual operation 
Built-in motorized aperture diaphragm (Pre-setting for each objective, automatically full open for darkfield) 
Observation mode: brightfield, darkfield, differential interface contrast (DIC)*1, simple polarizing*1, fluorescence*1, infra-red*1 and MIX observation(4 directional darkfield) 
*1 Optional mirror cube, *2 MIX observation configuration is required
Transmitted light illumination(FN 26.5)Transmitted light illumination unit MX-TILLA or MX-TILLB is required.     
Transmitted light illumination unit with a condenser (NA 0.5) and an aperture stop: MX-TILLA     
Transmitted light illumination unit with a condenser (NA 0.6), an aperture stop and a field stop: MX-TILLB     
Light source: LG-PS2 (12 V,100 W halogen lamp) Light guide: LG-SF     
Observation mode: brightfield, simple polarizing
FocusStroke: 32 mm 
Fine stroke per rotation: 100 μm 
Minimum graduation: 1μm 
Upper limit stopper and torque adjustment for coarse handle
Maximum load weight(including stage and holder)8 kg15 kg
Observation tubeWide-field (FN 22)Elect and trinocular: U-ETR4 
Elect, tilting and trinocular: U-TTR-2 
Inverted and trinocular: U-TR30-2, U-TR30IR (for IR observation) 
Inverted and binocular: U-BI30-2 
Inverted, tilting and binocular: U-TBI30
Super-wide-field (FN 26.5)Elect, tilting and trinocular: MX-SWETTR (optical path switchover 100% (eyepiece) : 0 (camera) or 0 : 100%) 
Elect, tilting and trinocular: U-SWETTR (optical path switchover 100% (eyepiece) : 0 (camera) or 20% : 80%) 
Inverted and trinocular: U-SWTR-3
Motorized nosepiece

Brightfield 
Motorized sextuple with a slider slot for DIC: U-D6REMC 
Motorized centerable quintuple with a slider slot for DIC: U-P5REMC

Brightfield and darkfield 
Motorized sextuple with a slider slot for DIC: U-D6BDREMC 
Motorized quintuple with a slider slot for DIC: U-D5BDREMC 
Motorized centerable quintuple with a slider slot for DIC: U-P5BDREMC

Stage (X × Y)

Coaxial right handle with built-in clutch drive: MX-SIC8R 
Stroke: 210 x 210 mm 
Transmitted light illumination area: 189 x 189 mm

Coaxial right handle with built-in clutch drive: MX-SIC6R2 
Stroke: 158 x 158 mm 
(Reflected light use only)

Coaxial right handle with built-in clutch drive: MX-SIC1412R2 
Stroke: 356 x 305 mm 
Transmitted light illumination area: 356 x 284 mm
WeightApprox. 35.6kg(Microscope frame 26kg)Approx. 44kg(Microscope frame 28.5kg)



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